品質認證、超淨與計量

METROLOGY STANDARDS & CLEANROOM PROTOCOLS

我們確保每一件光學組件都符合最嚴苛的計量標準與環境規範。

精密計量認證 (Metrology Certification)

極致光峰實驗室符合 ISO 17025 計量標準。我們提供完整的波前分析報告與雷射波長校準證書，確保測量結果的全球溯源性。

  • ISO 17025:2017 Accredited Laboratory
  • NIST Traceable Laser Calibration
  • Wavefront Analysis (Zygo Verifire MST)
  • Surface Profilometry (AFM/WLI)

CERTIFICATE OF CONFORMANCE

WAVEFRONT ERROR (WFE) REPORT

λ/100 RMS

Verified by Zygo Interferometry System

百級 (Class 100) 潔淨室規範

ISO 5 (CLASS 100) CLEANROOM PROTOCOLS

無塵封裝 (Dust-free Packaging)

採用三層真空密封封裝，確保光學組件在運輸過程中不受微塵污染。所有包裝均在 ISO 5 環境下完成。

離子化除靜電 (ESD Control)

全區域離子風機覆蓋，嚴格控制靜電放電，防止微塵因靜電吸附於精密鍍膜表面。

化學氣相分子防護 (AMC)

針對 EUV 與高能雷射光學，我們嚴格監控空氣中的分子污染物 (AMC)，防止光化學沉積導致的性能下降。

波前誤差 (WFE) 測試標準

WAVEFRONT ERROR TESTING PROTOCOLS

關於 Zygo 干涉儀測試報告的解讀與客戶品質驗收準則。我們採用相位移干涉技術 (PSI) 進行高空間頻率誤差分析。

誤差類別 (Error Type) 驗收閾值 (Threshold) 測試儀器 (Instrument)
低頻誤差 (P-V) < λ/20 Zygo Verifire
中頻誤差 (MSF) < 1.5nm RMS Sub-aperture Stitching
高頻誤差 (Roughness) < 0.2nm Ra Atomic Force Microscope

驗收準則 (Acceptance)

所有產品出廠前必須通過 100% 全檢，並附帶原始干涉圖 (Interferogram) 與 Zernike 多項式分析報告。