工程技術規格與公差

ENGINEERING SPECIFICATIONS & TOLERANCES

我們將鏡面精度控制在原子級工法，挑戰物理極限的製造標準。

01 / ION BEAM FIGURING

離子束拋光 (IBF)

展示如何將鏡面精度控制在 λ/100 的原子級工法。透過高能離子束精確移除表面原子，實現無應力的超精密加工。

  • - Precision: λ/100 (RMS)
  • - Material: Fused Silica, SiC
  • - Process: Non-contact Removal
02 / ALD/PVD COATING

寬頻抗反射與高反鍍膜

解析多層膜堆疊如何過濾特定波段並達到 99.999% 的反射率。應用於高能雷射系統與深空探測器。

  • - Reflectivity: > 99.999%
  • - Layers: Up to 200+ layers
  • - Range: 13.5nm - 20μm
03 / DEFORMABLE MIRRORS

自適應光學變形鏡

展示以千赫茲頻率調整形狀以補償大氣擾動的執行器架構。為地面望遠鏡提供超越哈伯的清晰度。

  • - Frequency: 1kHz - 5kHz
  • - Actuators: 1000+ elements
  • - Correction: Wavefront error

技術數據表

TECHNICAL DATA SHEET (TDS)

參數項目 (Parameter) 規格標準 (Specification) 測試方法 (Metrology) 應用領域 (Application)
表面粗糙度 (Surface Roughness) Ra < 0.2nm AFM / Interferometry EUV Lithography
熱膨脹係數 (CTE) < 0.01 x 10⁻⁶ / K Dilatometry Space Telescopes
工作波長範圍 (Wavelength) 13.5nm - 20μm Spectrophotometry Multi-spectral Imaging
波前誤差 (Wavefront Error) < λ/50 (P-V) Zygo Verifire MST Laser Systems
散射率 (Scattering) < 10 ppm BRDF Measurement High-contrast Imaging