環境穩定性與效能監測

ENVIRONMENTAL STABILITY & PERFORMANCE MONITORING

即時監控實驗室物理參數,確保光學加工與測量在極限穩定狀態下進行。

實驗室震動頻譜 (Vibration Noise)

Status: STABLE | VC-E Standard

微氣候溫控波動 (±0.01°C)

Current: 20.005°C | ΔT: 0.002°C

雷射頻率穩定度 (Frequency)

Lock: HE-NE STABILIZED

光路拓撲視圖

OPTICAL PATH TOPOLOGY

BEAM SPLITTER
MIRROR A
DETECTOR
MIRROR B

標準 Michelson 干涉儀佈局,用於即時波前監測與位移補償。

拋光進度熱圖

POLISHING RESIDUAL ERROR HEATMAP

模擬展示一個 4 公尺主鏡在拋光過程中的殘餘誤差分佈地圖。當前 RMS: 12nm。